膜厚測量儀 FR-pRo 是一款基于白光反射光譜（WLRS）技術的模塊化光學測量設備，其核心應用領域及優(yōu)勢可歸納如下：
一、核心應用領域
1.半導體制造
應用場景：光刻膠、電介質層、光子多層結構、多晶硅（poly-Si）、單晶硅（Si）、類金剛石碳（DLC）等薄膜厚度測量。
典型案例：
測量4英寸硅片退火處理后二氧化硅膜厚分布。
監(jiān)測8英寸硅片上多晶硅層的均勻性。
優(yōu)勢：非接觸式測量避免晶圓損傷，支持納米級分辨率（垂直分辨率達0.1nm），滿足半導體工藝對精度的嚴苛要求。
2.光伏產業(yè)
應用場景：太陽能電池各層薄膜（如非晶硅、CIGS、PERC電池的氮化硅/氧化鋁鈍化層）厚度控制。
優(yōu)勢：通過膜厚優(yōu)化提升光電轉換效率，減少材料浪費。
3.液晶顯示（LCD/OLED）
應用場景：彩色濾光片（CF）、薄膜晶體管（TFT）陣列、偏光片等關鍵膜層的厚度均勻性檢測。
優(yōu)勢：支持大面積基板（如G8.5代線）的快速掃描，確保顯示面板的色彩一致性和良率。
4.光學薄膜與鍍膜
應用場景：光學鏡頭、濾光片、反射鏡等器件的增透膜、高反膜、分光膜厚度測量。
典型案例：
測量BK7玻璃上ITO（氧化銦錫）導電膜厚度（如219.8nm）。
分析熔融石英基板上PEDOT:PSS導電聚合物膜的厚度（如41.5nm）。
優(yōu)勢：支持透明/半透明基底上的多層膜堆疊分析，可同時獲取厚度與光學常數（n&k）。
5.生物醫(yī)學工程
應用場景：派瑞林（Parylene）涂層、醫(yī)用導管/支架表面涂層、氣泡壁厚等微納級薄膜檢測。
優(yōu)勢：非破壞性測量保護生物樣本完整性，支持液體環(huán)境下的動態(tài)監(jiān)測。
6.微機電系統(tǒng)（MEMS）與微光機電系統(tǒng)（MOEMS）
應用場景：微傳感器、微執(zhí)行器中結構層的厚度控制（如硅基MEMS的犧牲層釋放后厚度驗證）。
優(yōu)勢：三維表面測量功能（表面高度范圍2nm-500μm）適應復雜微結構需求。
二、技術優(yōu)勢
1.超寬測量范圍
厚度覆蓋1nm-3mm，兼容從原子層沉積（ALD）到厚涂層（如噴涂）的全尺度需求。
3.模塊化設計
核心單元：集成小型高性能光譜儀（200-2500nm可調）、高穩(wěn)定性光源（鹵鎢燈/氘燈）及電子控制模塊。
擴展模塊：
反射/透射探針（200μm光斑尺寸）。
液體環(huán)境測量套件（聚四氟乙烯容器+石英光學窗口）。
加熱裝置（溫度控制范圍室溫-200℃）。
用戶自定義配置：通過組合不同模塊，實現(xiàn)從實驗室研發(fā)到生產線在線檢測的全場景覆蓋。
3.高精度與快速性
分辨率：垂直分辨率0.1nm，厚度重復性±0.2nm。
速度：單點測量時間<1秒，支持高速掃描（如8英寸晶圓全片測量僅需數分鐘）。
4.智能化軟件支持
FR-Monitor軟件：
自動擬合反射光譜，計算膜厚及光學常數（n&k）。
內置600+種材料數據庫，支持離線分析與結果導出。
提供理論反射光譜模擬，輔助工藝優(yōu)化。
兼容性：支持Windows系統(tǒng)，可集成至CNC機床或自動化生產線。
三、典型應用案例
1.ITO/PEDOT:PSS導電膜測量
挑戰(zhàn)：柔性顯示基材上超薄導電膜的厚度均勻性直接影響器件性能。
解決方案：使用FR-pRo VIS/NIR（370-1020nm）型號，通過反射光譜擬合，精確區(qū)分ITO（219.8nm）與PEDOT:PSS（41.5nm）雙層結構。
2.半導體晶圓膜厚映射
需求：監(jiān)測退火工藝對二氧化硅膜厚的影響。
成果：實現(xiàn)4英寸硅片全表面厚度分布測量，空間分辨率達10μm，發(fā)現(xiàn)邊緣區(qū)域厚度波動<0.5%。
3.光伏電池鈍化層優(yōu)化
目標：通過氮化硅膜厚控制提升電池效率。
數據：FR-pRo測量顯示，膜厚從75nm優(yōu)化至82nm后，電池短路電流提升1.2%。
四、操作要點
1.樣品準備：確保表面清潔無劃痕，避免影響反射光譜質量。
2.參數設置：根據材料特性選擇光譜范圍（如有機薄膜用VIS/NIR，金屬膜用UV/VIS）。
3.環(huán)境控制：在液體或高溫環(huán)境下測量時，需啟用對應擴展模塊。
4.數據分析：利用軟件的多層擬合功能，區(qū)分基底與薄膜的干涉信號。
文章資料來源于：http://www.dymek.com.cn/Products-38028931.html，轉載請注明！
資訊來源：http://www.dymek.com.cn/
|
友情提示：
信息由用戶自行發(fā)布，如果發(fā)現(xiàn)錯誤或不符合法規(guī)或造成侵權，請及時通知本站更正或刪除，具體聯(lián)系方式見頁面底部聯(lián)系我們，謝謝。 |
|
當前頁在本站[名站在線]7天內點擊次數(點擊次數為零的日期不顯示)： |
|
信息評估： |
（還沒有網友對該信息作出評估，你想為該信息提供第一個評估嗎？） |
唐山蘆臺造成輸卵管積水因素有哪些唐山蘆臺造成輸卵管積水因素有哪些?18年專業(yè)路，百年品牌心。同心同力一家人，仁心仁術萬戶愛▆▆◤▆▆聯(lián)系TEL0315-2313999∑唐山〖︻同-仁↘Ψ企鵝摳摳800022720
yiyuan貼心細致的服務，就像春雨潤萬物一樣，讓患者得到心理上的愉悅。百度N次唐山不孕不育yiyuan官網問題，不如直接咨詢我們yiyuan的在線專家。多年未孕要想早點生一個健康的孩子，選擇一家可靠專業(yè)的yiyuan是非常有必要的�？床辉胁挥欢ㄒ鱿嚓P的檢查，明確一...唐山蘆臺輸卵管過短怎么形成的唐山蘆臺輸卵管過短怎么形成的?18年專業(yè)路，百年品牌心。同心同力一家人，仁心仁術萬戶愛▆▆◤▆▆聯(lián)系TEL0315-2313999∑唐山〖︻同-仁↘Ψ企鵝摳摳800022720
yiyuan貼心細致的服務，就像春雨潤萬物一樣，讓患者得到心理上的愉悅。百度N次唐山不孕不育yiyuan官網問題，不如直接咨詢我們yiyuan的在線專家。多年未孕要想早點生一個健康的孩子，選擇一家可靠專業(yè)的yiyuan是非常有必要的�？床辉胁挥欢ㄒ鱿嚓P的檢查，明確一下病...唐山蘆臺造成輸卵管過長原因有哪些唐山蘆臺造成輸卵管過長原因有哪些?18年專業(yè)路，百年品牌心。同心同力一家人，仁心仁術萬戶愛▆▆◤▆▆聯(lián)系TEL0315-2313999∑唐山〖︻同-仁↘Ψ企鵝摳摳800022720
yiyuan貼心細致的服務，就像春雨潤萬物一樣，讓患者得到心理上的愉悅。百度N次唐山不孕不育yiyuan官網問題，不如直接咨詢我們yiyuan的在線專家。多年未孕要想早點生一個健康的孩子，選擇一家可靠專業(yè)的yiyuan是非常有必要的�？床辉胁挥欢ㄒ鱿嚓P的檢查，明確一...唐山蘆臺輸卵管炎形成的因素唐山蘆臺輸卵管炎形成的因素?18年專業(yè)路，百年品牌心。同心同力一家人，仁心仁術萬戶愛▆▆◤▆▆聯(lián)系TEL0315-2313999∑唐山〖︻同-仁↘Ψ企鵝摳摳800022720
yiyuan貼心細致的服務，就像春雨潤萬物一樣，讓患者得到心理上的愉悅。百度N次唐山不孕不育yiyuan官網問題，不如直接咨詢我們yiyuan的在線專家。多年未孕要想早點生一個健康的孩子，選擇一家可靠專業(yè)的yiyuan是非常有必要的。看不孕不育一定要做相關的檢查，明確一下病因...唐山蘆臺輸卵管炎有哪些因素造成唐山蘆臺輸卵管炎有哪些因素造成?18年專業(yè)路，百年品牌心。同心同力一家人，仁心仁術萬戶愛▆▆◤▆▆聯(lián)系TEL0315-2313999∑唐山〖︻同-仁↘Ψ企鵝摳摳800022720
yiyuan貼心細致的服務，就像春雨潤萬物一樣，讓患者得到心理上的愉悅。百度N次唐山不孕不育yiyuan官網問題，不如直接咨詢我們yiyuan的在線專家。多年未孕要想早點生一個健康的孩子，選擇一家可靠專業(yè)的yiyuan是非常有必要的。看不孕不育一定要做相關的檢查，明確一下...
|
|
|
|
|
您當前的位置: 首頁 > 行業(yè)資訊
