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    微納結(jié)構(gòu)加工技術(shù)特點(diǎn)_蘇州微納代工廠家


    發(fā)布時(shí)間:2022-10-08   資訊類別: 其它資訊   我要發(fā)布
    微納加工大致可以分為“自上而下”和“自下而上”兩類!白陨隙隆笔菑暮暧^對(duì)象出發(fā),以光刻工藝為基礎(chǔ),(深硅刻蝕)對(duì)材料或原料進(jìn)行加工,最小結(jié)果尺寸和精度通常由光刻或刻蝕環(huán)節(jié)的分辨力決定!白韵露稀奔夹g(shù)則是從微觀世界出發(fā),通過控制原子、分子和其他納米對(duì)象的相互作用力將各種單元構(gòu)建在一起,形成微納結(jié)構(gòu)與器件。
    基于光刻工藝的微納加工技術(shù)主要包含以下過程:掩模(mask)制備、圖形形成及轉(zhuǎn)移(涂膠、曝光、顯影)、薄膜沉積、刻蝕、外延生長(zhǎng)、氧化和摻雜等。
    在基片表面涂覆一層某種光敏介質(zhì)的薄膜(抗蝕膠),曝光系統(tǒng)把掩模板的圖形投射在(抗蝕膠)薄膜上,光(光子)的曝光過程是通過光化學(xué)作用使抗蝕膠發(fā)生光化學(xué)作用,形成微細(xì)圖形的潛像,再通過顯影過程使剩余的抗蝕膠層轉(zhuǎn)變成具有微細(xì)圖形的窗口,后續(xù)基于抗蝕膠圖案進(jìn)行鍍膜、刻蝕等可進(jìn)一步制作所需微納結(jié)構(gòu)或器件。
    微納結(jié)構(gòu)加工技術(shù)有如下幾個(gè)特點(diǎn)_蘇州微納代工廠家小編來為大家娓娓道來:
    1.微納加工技術(shù)是—個(gè)多學(xué)科的制造系統(tǒng)工程
    它不是孤立的加工方法和單純的工藝過程,它涉及超微最分離、結(jié)合技術(shù)、高質(zhì)量的材料、高穩(wěn)定性和高凈化的加工環(huán)境、高精度的量測(cè)試技術(shù)以及高可靠性的工況監(jiān)控和質(zhì)量控制等。
    2.微納加工技術(shù)是一門多學(xué)科的綜合高新技術(shù)
    微納結(jié)構(gòu)加工技術(shù)的涉及面極廣,其加工方法包括分離、結(jié)合、變形三大類、遍及傳統(tǒng)加工工藝和非傳統(tǒng)加工工藝。
    3.微納結(jié)構(gòu)加工技術(shù)的加工基礎(chǔ)是平面工藝
    平面工藝是制作半導(dǎo)體基片、電子元件和電子線路及其連線、封裝一整套制造工藝技術(shù),它主要同繞集成電路的制作,現(xiàn)在已在發(fā)展立體工藝技術(shù)。
    4.微納結(jié)構(gòu)加工技術(shù)與自動(dòng)化技術(shù)聯(lián)系緊密
    為保證加工質(zhì)量及其穩(wěn)定性.必須采用自動(dòng)化技術(shù)來進(jìn)行加工。
    5.微納結(jié)構(gòu)加工投術(shù)檢測(cè)—體化
    微納加工過程中在位檢測(cè)和在線檢測(cè)的檢驗(yàn)、測(cè)試手段必須要與之相匹配。
    編輯:MEMS加工 www.szjtnano.com



    資訊來源:微納代工  


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